氣體流量傳感器的核心是加熱器和溫度傳感器，可以根據(jù)氣體流動(dòng)時(shí)相應(yīng)的熱傳遞檢測(cè)氣體流動(dòng)的速度和方向，對(duì)通過(guò)芯片的空氣或其他氣體流量有靈敏快速的響應(yīng)。根據(jù)工作原理，氣體流量傳感器可分為應(yīng)變、壓電、壓阻、電感、電容、光電、電阻、電容、電感、電壓、霍爾、光電、光柵、熱電偶等氣體流量傳感器。

MEMS氣體質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品原理，采用具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MEMS芯片作為傳感器核心部件，當(dāng)沒有氣體介質(zhì)流過(guò)傳感器芯片時(shí)，傳感器周圍保持穩(wěn)定的溫度場(chǎng)（溫度分布）,當(dāng)氣體介質(zhì)流過(guò)傳感器芯片時(shí)，溫度場(chǎng)因?yàn)榱黧w介質(zhì)帶走熱量導(dǎo)致局部溫度重新分布。局部溫度場(chǎng)的變化量取決于流體介質(zhì)的質(zhì)量及流速。集成在芯片上的傳感器對(duì)此溫度分布進(jìn)行測(cè)量，通過(guò)校準(zhǔn)，專門設(shè)計(jì)的信號(hào)處理電路和智能控制軟件可精確測(cè)量實(shí)際的介質(zhì)質(zhì)量流量.

氣體流量傳感器的使用功能

氣體流量傳感器具有顯示功能：能同時(shí)顯示累積流量、瞬時(shí)流量、壓力和溫度。2、氣體流量傳感器具有通訊功能： 可以與分站的智能口進(jìn)行RS485通訊，并能同時(shí)輸出累積流量、瞬時(shí)流量、壓力和溫度。

氣體流量傳感器是質(zhì)量流還是體積流的呢？

其實(shí)，要看什么樣的流量計(jì)，差壓式流量計(jì)通過(guò)積算儀可以顯示體積和質(zhì)量，本身直接測(cè)量出來(lái)的是體積量，在計(jì)算儀內(nèi)輸入該狀態(tài)下的密度換算出質(zhì)量，像渦街也是直接測(cè)量出的是體積量，渦輪流量計(jì)和羅茨流量計(jì)超聲流量計(jì)，都是體積量，科里奧利質(zhì)量流量計(jì)為質(zhì)量流量