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MEMS氣體質(zhì)量傳感器產(chǎn)品原理?

發(fā)布時(shí)間:2023-05-11 18:00:28人氣:

氣體流量傳感器的核心是加熱器和溫度傳感器,可以根據(jù)氣體流動(dòng)時(shí)相應(yīng)的熱傳遞檢測(cè)氣體流動(dòng)的速度和方向,對(duì)通過芯片的空氣或其他氣體流量有靈敏快速的響應(yīng)。根據(jù)工作原理,氣體流量傳感器可分為應(yīng)變、壓電、壓阻、電感、電容、光電、電阻、電容、電感、電壓、霍爾、光電、光柵、熱電偶等氣體流量傳感器。


MEMS氣體質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品原理,采用具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MEMS芯片作為傳感器核心部件,當(dāng)沒有氣體介質(zhì)流過傳感器芯片時(shí),傳感器周圍保持穩(wěn)定的溫度場(chǎng)(溫度分布),當(dāng)氣體介質(zhì)流過傳感器芯片時(shí),溫度場(chǎng)因?yàn)榱黧w介質(zhì)帶走熱量導(dǎo)致局部溫度重新分布。局部溫度場(chǎng)的變化量取決于流體介質(zhì)的質(zhì)量及流速。集成在芯片上的傳感器對(duì)此溫度分布進(jìn)行測(cè)量,通過校準(zhǔn),專門設(shè)計(jì)的信號(hào)處理電路和智能控制軟件可精確測(cè)量實(shí)際的介質(zhì)質(zhì)量流量.


氣體流量傳感器的使用功能


氣體流量傳感器具有顯示功能:能同時(shí)顯示累積流量、瞬時(shí)流量、壓力和溫度。2、氣體流量傳感器具有通訊功能: 可以與分站的智能口進(jìn)行RS485通訊,并能同時(shí)輸出累積流量、瞬時(shí)流量、壓力和溫度。


氣體流量傳感器是質(zhì)量流還是體積流的呢?

其實(shí),要看什么樣的流量計(jì),差壓式流量計(jì)通過積算儀可以顯示體積和質(zhì)量,本身直接測(cè)量出來的是體積量,在計(jì)算儀內(nèi)輸入該狀態(tài)下的密度換算出質(zhì)量,像渦街也是直接測(cè)量出的是體積量,渦輪流量計(jì)和羅茨流量計(jì)超聲流量計(jì),都是體積量,科里奧利質(zhì)量流量計(jì)為質(zhì)量流量


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