光柵測(cè)量技術(shù)是以光柵相對(duì)移動(dòng)所形成的莫爾條紋信號(hào)為基礎(chǔ)的,對(duì)此信號(hào)進(jìn)行一系列的處理,即可獲得光柵相對(duì)移動(dòng)的位移量。將光柵位移傳感器與微電子技術(shù)相結(jié)合,進(jìn)行線性位移量的測(cè)量,以實(shí)現(xiàn)較高的測(cè)量精度。而且可以拆開柵尺和讀數(shù)頭光柵位移傳感器包括以下幾部分:光柵;光柵光學(xué)組成。光柵光學(xué)系統(tǒng)的作用是形成莫爾條紋;光電接收系統(tǒng)。光電接收系統(tǒng)是由光敏元件組成,他將莫爾條紋的光學(xué)信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào),本系統(tǒng)采用的光敏元件是4個(gè)硅光電池。
擴(kuò)展資料:細(xì)分與辨向電路細(xì)分電路為記錄光柵上移過(guò)的條紋數(shù)目和判斷光柵的移動(dòng)率等,傳感器中采用4極硅光電池來(lái)接收莫爾條紋信號(hào)。調(diào)整莫爾條紋的寬度B,使他正好與4個(gè)硅光電池的寬度相同。則可直接獲得在相位上依次相差90的4路信號(hào),即進(jìn)行4倍細(xì)分。辨向電路位移除了有大小的屬性外,還具有方向的屬性。為了辨別標(biāo)尺光柵位移的方向,僅靠一個(gè)光敏元件輸出一個(gè)信號(hào)是不行的。必須有2個(gè)以上的信號(hào)根據(jù)他們的相位不同來(lái)判斷位移方向。因此,本設(shè)計(jì)采用的是4個(gè)硅光電池來(lái)接收莫爾條紋信號(hào),則輸出的4路信號(hào)在相位上依次相差90,利用這種特點(diǎn)設(shè)計(jì)的辨向電路的。