如果傳感器是使用MEMS技術設計和制造的,那么它被稱為微機械微傳感器或簡稱為MEMS傳感器。MEMS技術的主要實施者之一是汽車行業(yè)?,F(xiàn)代汽車使用大量傳感器,其中大多數(shù)是基于MEMS的設備。MEMS傳感器已被用于各種應用,例如控制和處理設備、管理機器人、汽車、夾具等。您可以在現(xiàn)代噴墨打印機、彩色投影儀、顯示系統(tǒng)、時鐘和掃描設備中找到這些傳感器。
MEMS技術用于制造不同的傳感器,如壓力、溫度、振動和化學傳感器。加速度計、陀螺儀、電子羅盤等是汽車、直升機、飛機、無人機和船舶中常用的一些MEMS傳感器。
下面提到了基于MEMS的傳感器的一些應用領域:
1.汽車2.化學制藥3.飛機4.工業(yè)自動化與制造
5.國防、航天和航空6.環(huán)境與健康科學7.計算和通信8.消費產(chǎn)品