1、高擴(kuò)散硅壓力傳感器手感精度高,轉(zhuǎn)換靈敏,檢測(cè)三合一,轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)不連接機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件,因此重復(fù)性和滯后誤差非常小。所以綜合定位精度很高。
2、可靠性高的硅敏膜彈性變形量級(jí)為微應(yīng)變,膜的最大位移量級(jí)為微米,且無機(jī)械磨損、無疲勞、無老化。平均無故障時(shí)間,性能穩(wěn)定,可靠性高。
3、靈敏度高擴(kuò)散硅敏感電阻的靈敏度系數(shù)比金屬應(yīng)變片高50~80倍,其滿量程信號(hào)輸出在80-100mv左右。適配電路適配性好,應(yīng)用成本相應(yīng)低。由于其輸入勵(lì)磁電壓低,輸出信號(hào)大,且無機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件損耗,因而分辨率高。
4、高頻響應(yīng)由于敏感膜硅材料本身固有頻率很高,一般為50KC。制造工藝采用一體化工藝,振膜的有效面積可以很小,采用剛性結(jié)構(gòu)預(yù)裝特殊設(shè)計(jì),傳感器頻率響應(yīng)高,使用帶寬可達(dá)零到100 kHz。
5、性能好程度隨著集成技術(shù)的進(jìn)步,擴(kuò)散硅敏膜的四電阻得到進(jìn)一步提高,原來的人工補(bǔ)償已被激光電阻、電腦自動(dòng)休息技術(shù)更換、傳感器歸零和靈敏度溫度系數(shù)已達(dá)到10-5個(gè)/℃量級(jí),工作溫度也大大提高。
6、擴(kuò)散硅壓力變送器良好的抗電擊穿性能由于采用特殊材料和組裝工藝,擴(kuò)散硅傳感器不僅可以在130℃的強(qiáng)磁場(chǎng)中正常使用,耐高壓擊穿測(cè)試可以抗1500V /交流電壓沖擊壓力變送器。
7、耐腐蝕性好 由于擴(kuò)散硅材料本身具有優(yōu)異的耐化學(xué)腐蝕性,即使傳感器沒有隔離壓力面,在普通使用中也能適應(yīng)多種介質(zhì)。硅材料與硅油具有良好的相容性,使其在使用防腐材料的隔離過程中更容易實(shí)現(xiàn)。再加上其低電壓、低電流、低功耗、低成本和本質(zhì)安全的防爆特性,可以替代許多同類型的功能產(chǎn)品,具有最佳的性價(jià)比。