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直接量規(guī)和間接量規(guī)真空壓力表產(chǎn)生的可測(cè)量壓力效應(yīng)

發(fā)布時(shí)間:2023-05-11 18:06:08人氣:

 當(dāng)需要為您的真空泵或系統(tǒng)選擇新的或更換的壓力表時(shí),采取周到的方法很重要。乍一看,這似乎是一項(xiàng)簡(jiǎn)單的任務(wù),但您需要考慮幾個(gè)因素。各種因素會(huì)影響壓力表的整體性能/可靠性,并且必須成為決策過程的一部分。每個(gè)儀表都有自己的工作范圍和準(zhǔn)確度級(jí)別,并提供自己的一系列優(yōu)勢(shì)和限制。


 在深入研究這些主要選項(xiàng)之前,讓我們研究一下壓力表類型。有兩種主要類型的真空壓力表:直接和間接。


 1、直接量規(guī)


 直接壓力表將為您提供真空系統(tǒng)的壓力,與氣體類型無關(guān)(因此也稱為氣體獨(dú)立壓力表)。這些只能在10-4 mbar以上的壓力下有效工作。這是因?yàn)樗鼈円蕾囉谙到y(tǒng)中具有物理效應(yīng)的分子,并且在較低壓力下,沒有足夠的分子產(chǎn)生可測(cè)量的效應(yīng)。包括:


 壓電真空和超壓的精確測(cè)量,低至1 mbar左右(低于1 mbar的精度往往會(huì)漂移)

 機(jī)械表盤壓力的視覺指示(在本地顯示應(yīng)用中很有用)

 電容高度準(zhǔn)確,能夠測(cè)量從大氣壓到10-5托(測(cè)量4個(gè)十進(jìn)制,在前2個(gè)十年內(nèi)具有極高的精度)


 2、間接量規(guī)


 間接測(cè)量?jī)x通常依賴于兩種測(cè)量技術(shù):熱導(dǎo)或電離。兩種測(cè)量技術(shù)都取決于氣體類型;因此,如果您想知道真實(shí)壓力,了解您正在測(cè)量的氣體很重要。通過了解氣體類型,您可以應(yīng)用氣體校正因子。這些壓力表分為三種主要類型:


 皮拉尼(熱力計(jì))用于粗真空到中等真空,通常作為壓電/電容計(jì)的低成本替代品,精度不那么重要

 冷陰極(電離計(jì))用于中到高真空以指示壓力(用于高顆粒應(yīng)用的穩(wěn)健技術(shù))

 熱陰極(電離規(guī))用于中到超高真空,與冷陰極技術(shù)相比,精度更高,測(cè)量范圍更廣,缺點(diǎn)包括它需要稍高的功率,并且對(duì)振動(dòng)/沖擊和空氣涌入更敏感,但它非常適合清潔、高真空應(yīng)用


 3、主動(dòng)和被動(dòng)壓力表


 對(duì)于間接量規(guī),還有另一個(gè)小節(jié):主動(dòng)和被動(dòng)。


 您在市場(chǎng)上看到的大多數(shù)壓力表都是活動(dòng)的,帶有嵌入式電子設(shè)備來進(jìn)行信號(hào)處理并提供0-10 V或其他與壓力成比例的模擬輸出。然而,在輻射量大的環(huán)境中,有源傳感器會(huì)受到影響且不可靠。在這些情況下,您可以獲取移除電子設(shè)備并將其放入控制器的壓力表版本,該控制器可以遠(yuǎn)離輻射區(qū)域放置以獲得最佳性能。

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