薄膜式壓力傳感器的最大檢測壓力范圍取決于其設計和制造的具體參數(shù)和材料選擇。一般來說,薄膜式壓力傳感器的最大檢測壓力范圍通常是在傳感器規(guī)格說明中指定的。
對于普通的商業(yè)薄膜式壓力傳感器,其最大檢測壓力范圍通常在幾千帕(kPa)到幾百兆帕(MPa)之間。但也有專門設計用于高壓力范圍的薄膜式壓力傳感器,其最大檢測壓力范圍可以達到幾千兆帕(GPa)。
需要注意的是,傳感器的最大檢測壓力范圍并不意味著傳感器在整個壓力范圍內都能提供相同的準確性和精度。傳感器的準確性和精度通常在其規(guī)格說明中給出,并且在最大檢測壓力范圍內可能會有一些誤差或非線性特性。
因此,在選擇薄膜式壓力傳感器時,需要根據(jù)應用的具體需求和工作條件來選擇適當?shù)膫鞲衅鳎_保其最大檢測壓力范圍能夠滿足實際需求,并在這個范圍內保持較高的準確性和精度。