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mems工業(yè)傳感器制造的技術(shù)特點

發(fā)布時間:2023-05-11 17:48:23人氣:

工業(yè)傳感器

首先必須承認(rèn),中國是最大電子生產(chǎn)和消費大國,終端消費市場巨大,該優(yōu)勢應(yīng)該可以給各家MEMS廠商給予一定信心。而且受物聯(lián)網(wǎng)市場驅(qū)動,MEMS傳感器的市場增量將相當(dāng)可觀。另外,MEMS傳感器產(chǎn)品多樣,也有巨大的創(chuàng)新空間。


MEMS傳感器制造需要依賴發(fā)達的半導(dǎo)體微加工技術(shù)


另一方面,根據(jù)MEMS傳感器的特點,MEMS傳感器一直依賴于使用基于半導(dǎo)體的微加工技術(shù)來制造器件,以取代更為復(fù)雜、笨重或不敏感的傳感器。據(jù)此,未來將有四大趨勢改變MEMS市場格局。它們分別是:新興器件、新應(yīng)用、顛覆性技術(shù)、新設(shè)計。


簡單來說就是:新興器件,如微鏡和環(huán)境組合傳感器;新應(yīng)用,如壓力傳感器應(yīng)用于位置或高度感測;顛覆性技術(shù),包括封裝、新材料,如壓電薄膜和300mm/12寸晶圓;新的設(shè)計,包括NEMS納機電系統(tǒng)和光學(xué)集成技術(shù)。


mems工業(yè)傳感器工作原理分類:


每一種MEMS傳感器又有很多種細分方法,如加速度計,按檢測質(zhì)量的運動方式劃分,有角振動式和線振動式加速度計等,常見的MEMS傳感器有壓力傳感器、加速度傳感器、微機械陀螺儀、慣性傳感器、MEMS硅麥克風(fēng)等等;MEMS傳感器的品種多到可以以萬為單位,且不同MEMS之間參量較多,沒有完全標(biāo)準(zhǔn)的工藝。

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