什么是psd位置傳感器?
psd位置傳感器是一種能測(cè)量光點(diǎn)在探測(cè)器表面上連續(xù)位置的光學(xué)探測(cè)器。是一種新型的光電器件,或稱為坐標(biāo)光電池。它是一種非分割型器件,可將光敏面上的光點(diǎn)位置轉(zhuǎn)化為電信號(hào)。
psd位置傳感器的工作原理
psd由p襯底、pin光電二極管及表面電阻組成。具有位置分辨率高,響應(yīng)速度快和處理電路簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)。將二維方形psd應(yīng)用于定位系統(tǒng)中,模擬psd對(duì)準(zhǔn)物體的過(guò)程,確定psd與物體之間的相對(duì)位置;對(duì)準(zhǔn)物體的中心裝有一高亮度的發(fā)光二級(jí)管psd傳感器安裝于微動(dòng)工作平臺(tái)上;二極管發(fā)出的光束經(jīng)過(guò)光學(xué)系統(tǒng)聚焦后,將光點(diǎn)成像于放置在透鏡焦平面上的psd的接收光敏面上,這個(gè)光點(diǎn)信號(hào)經(jīng)過(guò)前置放大電路轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。然后,通過(guò)a/d采樣,送入到計(jì)算機(jī)進(jìn)行處理。從而確定psd對(duì)準(zhǔn)物體平面上某一點(diǎn)的位置。
當(dāng)對(duì)準(zhǔn)位置在測(cè)量范圍內(nèi)移動(dòng)時(shí),光斑與psd兩電極間的距離發(fā)生變化,使兩電極輸出電流隨其光斑位置的變化而變化,因此通過(guò)測(cè)定傳感器兩電極輸出電流的大小,便可知道psd與對(duì)準(zhǔn)物體平面上的某一點(diǎn)位置相對(duì)應(yīng)。
psd位置傳感器的分類
位敏探測(cè)器PSD主要有三種:四象限探測(cè)器、橫向效應(yīng)探測(cè)器、CCD/CMOS型探測(cè)器,四象限探測(cè)器和橫向效應(yīng)探測(cè)器的幾何結(jié)構(gòu)四象限探測(cè)器是一個(gè)均勻的硅盤,中間有交叉間隙。因此,有四個(gè)相等的光電探測(cè)器封裝為一個(gè)。
探測(cè)器的中心是交叉狀分離產(chǎn)生的交叉點(diǎn)。以檢測(cè)器為中心的激光束將從每個(gè)段產(chǎn)生相等的電流。光束運(yùn)動(dòng)將被轉(zhuǎn)換成不同的電流在每個(gè)段,并通過(guò)處理這些數(shù)據(jù),可以計(jì)算光束中心的波動(dòng)。所計(jì)算的波動(dòng)被給定為相對(duì)于光束尺寸的運(yùn)動(dòng)百分比。了解光束的尺寸可以方便地轉(zhuǎn)化為工程單元。
由SpotOn系列提供的軟件能完成這些計(jì)算橫向效應(yīng)探測(cè)器以類似于四象限探測(cè)器的方式工作,其中信息由四個(gè)電極遞送,每個(gè)軸兩個(gè),并附著在敏感表面的背面。在這種情況下,四個(gè)電流由光吸收產(chǎn)生,并用適當(dāng)?shù)乃惴ㄟM(jìn)一步處理以給出x和y位置。在CCD/CMOS位敏探測(cè)系統(tǒng)中,光束位置是通過(guò)測(cè)量在檢測(cè)器表面上傳遞給每個(gè)像素的能量來(lái)確定的。
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