薄膜技術(shù)的發(fā)展催生了目前許多不同行業(yè)使用的一些最先進(jìn)的傳感器。薄膜傳感器精確、穩(wěn)定、可靠且便宜，與傳統(tǒng)傳感器相比具有眾多優(yōu)勢。薄膜傳感器的大多數(shù)應(yīng)用都利用其小尺寸和為工程師提供的選擇——其獨(dú)特的外殼對于特定應(yīng)用來說是特別有用的功能。

　薄膜傳感器技術(shù)的一些更有趣的用途在于醫(yī)療領(lǐng)域。當(dāng)醫(yī)用泵和灌溉系統(tǒng)因管道堵塞或泵故障而中斷時(shí)，可能會造成毀滅性甚至致命的后果。醫(yī)療設(shè)備工程師經(jīng)常使用“管傳感器”來跟蹤這些泵系統(tǒng)中的壓力。這些傳感器的工作原理是測量傳感器上的壓力，傳感器放置在聚氨酯或PVC管的加寬壁上。設(shè)備制造商還可能在泵后面放置一個(gè)傳感器，以跟蹤泵在運(yùn)行過程中推動(dòng)傳感器時(shí)的壓力。

　薄膜傳感器已表現(xiàn)出在這些和其他應(yīng)用中有效所需的必要的可重復(fù)性、耐用性和精度。薄膜壓力傳感器通常用于工業(yè)應(yīng)用，特別是液壓設(shè)備和車輛，如起重機(jī)、壓路機(jī)、叉車和農(nóng)業(yè)機(jī)械。這是因?yàn)橐簤合到y(tǒng)的所有基本功能都需要精確跟蹤液壓。

　相對于傳統(tǒng)傳感器，薄膜傳感器存在的優(yōu)勢

　與傳統(tǒng)傳感器相比，薄膜傳感器器件具有許多優(yōu)點(diǎn)。薄膜技術(shù)使得傳感器元件變得特別小和緊湊，同時(shí)在精度和持久穩(wěn)定性方面保留了令人印象深刻的屬性。薄膜可以沉積并熔合到多種基材上，包括陶瓷材料和高級特種鋼。研究表明，這些傳感器的響應(yīng)時(shí)間更加快速和準(zhǔn)確，而尺寸允許緊密放置并減少對外部電路的需求。

　用于生產(chǎn)薄膜傳感器的生產(chǎn)方法現(xiàn)已成熟，可以高效、低成本且規(guī)格非常精確。薄膜生產(chǎn)方式有許多優(yōu)點(diǎn)。眾多主要優(yōu)點(diǎn)之一是換能器和沉積薄膜之間的真正分子鍵。這種彎曲/介電界面不含任何可能吸收水分或隨著時(shí)間的推移發(fā)生反應(yīng)的有機(jī)材料和氧氣。濺射薄膜傳感器可以抵抗與粘合箔測量儀中的有機(jī)背襯材料相關(guān)的問題。不含有機(jī)物也意味著這些設(shè)備能夠在極端溫度下運(yùn)行。

　薄膜傳感器是通過濺射工藝將材料直接沉積到真空沉積室中的固定裝置上而生產(chǎn)的。濺射系統(tǒng)可以進(jìn)行過程控制，從而可以以高度可重復(fù)性生產(chǎn)薄膜。與標(biāo)準(zhǔn)儀表相比，在生產(chǎn)中通?？梢詫?shí)現(xiàn)更嚴(yán)格的電橋電阻和零平衡控制。薄膜沉積速率幾乎與輸入功率成線性關(guān)系，并且速率可以適當(dāng)減慢，以便可以在短時(shí)間內(nèi)利用低功率沉積非常薄的薄膜。通過調(diào)整濺射參數(shù)，可以創(chuàng)建標(biāo)準(zhǔn)電橋以滿足具有挑戰(zhàn)性的絕緣電阻要求。