由大量具有相等寬度和相等間距的平行狹縫組成的光學(xué)器件稱為光柵。常用的光柵是通過(guò)在玻璃板上雕刻大量平行刻痕而制成的??毯凼遣煌该鞯牟糠郑⑶覂蓚€(gè)刻痕之間的光滑部分可以透射光,這相當(dāng)于狹縫。精制的光柵在1厘米寬的范圍內(nèi)具有成千上萬(wàn)個(gè)缺口。
這種使用透射光進(jìn)行衍射的光柵稱為透射光柵。也有光柵使用在兩個(gè)凹口之間衍射的反射光。例如,在鍍有金屬層的表面上刻有許多平行的凹口,并且在兩個(gè)凹口之間存在光滑的金屬。表面可以反射光,并且該光柵成為反射光柵。
光柵傳感器的特點(diǎn):
(1)精度高。在大范圍內(nèi)測(cè)量長(zhǎng)度或線性位移方面,光柵傳感器僅次于激光干涉?zhèn)鞲衅?。在圓分度和角位移的連續(xù)測(cè)量中,光柵傳感器是最精確的。
?。?)高分辨率的大范圍測(cè)量。感應(yīng)同步磁傳感器和磁性光柵傳感器也具有測(cè)量范圍大的特點(diǎn),但分辨率和精度均不如光柵傳感器。
(3)可以實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)測(cè)量,并且易于實(shí)現(xiàn)測(cè)量和數(shù)據(jù)處理的自動(dòng)化。
?。?)具有很強(qiáng)的抗干擾能力。對(duì)環(huán)境條件的要求不像激光干涉?zhèn)鞲衅髂敲磭?yán)格,但是卻不如感應(yīng)同步和磁柵傳感器那樣適應(yīng)。油和灰塵會(huì)影響其可靠性。主要適用于環(huán)境較好的實(shí)驗(yàn)室和車間。